Segons els seus principis de funcionament, els sensors de pressió es poden classificar en diversos tipus, inclosos els tipus ceràmics capacitius, capacitius metàl·lics, extensímetres de pel·lícula fina, extensímetres, piezoresistius de silici, capacitius de silici i ressonants de silici. Entre aquests, els sensors de pressió ressonant ofereixen la màxima precisió, aconseguint una precisió de fins a un 0,01% FS en tot el rang de temperatura (-40 graus a 85 graus). A causa de la seva precisió excepcional, s'utilitzen àmpliament en aplicacions que requereixen una precisió de pressió extremadament alta, com ara el mesurament de la profunditat de l'oceà, els estàndards de referència de pressió, el mesurament de paràmetres de vol d'avions i el seguiment meteorològic. Les raons per les quals els sensors de pressió ressonant de silici aconsegueixen una mesura de pressió tan alta precisió són les següents:
1. L'estructura central d'un sensor de pressió ressonant de silici és un ressonador de silici de doble fixació simètric. La freqüència de ressonància del ressonador canvia amb la pressió aplicada. Com que la freqüència és una propietat intrínseca dels sòlids, és menys susceptible al soroll de baixa freqüència i presenta una variació mínima amb la temperatura. Aquest efecte de filtrat natural dóna com a resultat una alta relació senyal-soroll.
2. L'estructura del ressonador de doble fixació garanteix que quan el ressonador vibra, la força externa neta sigui zero. A més, a causa de l'ús de la tecnologia d'enllaç anòdic MEMS, tot el ressonador funciona en un entorn de buit, aconseguint un factor d'alta qualitat.
3. Durant el procés de disseny, s'incorporen estructures d'alleujament de tensió a les zones tèrmicament sensibles del ressonador per minimitzar l'estrès tèrmic. Això redueix significativament l'estrès tèrmic sobre el ressonador.
Els productes de sensor de pressió ressonant de silici de Xi'an Mihui Technology aconsegueixen una mesura de pressió d'alta precisió amb una precisió del 0,01% FS a tot el rang de temperatures. Ofereixen una estabilitat anual inigualable del 0,01% FS i admeten tant la sortida de freqüència com la sortida digital RS485. Aquests sensors cobreixen mesures de pressió absoluta de 100 kPa a 1 MPa. Les especificacions són les següents:
Les persones interessades poden contactar amb nosaltres a través de la informació proporcionada al nostre lloc web.
